第(3/3)页 而euv光刻机里面的反光镜,是由德国蔡司制造的,只反射13.5nm的光,一共有40层,每一层的外表都非常平整。 但由于euv的光很容易被空气吸收,每一次反射都会损失掉30%的光强,一顿操作下来,最后就只剩下2%的光强,所以euv光刻机可以说是耗电猛兽。 euv光刻机除了耗电还很耗水,因为轰击金属锡液滴会释放能量,所以每秒钟得有4000升的水来进行冷却,而厂房环境也很严格,每小时得要净化30万立方米的空气。 就以上几点,就可以感觉到造euv光刻机究竟有多难。 但江凡的技术资料里却对这一块做了改进,通过把光源空间做成真空离子态,减少了过程中光源的损耗,一方面节约金属锡等材料和耗电量,另一方面受离子态影响每一次可以一定程度降低光的波长,从而更快获得更短波长的光,降低了难度的同时也获得了更好的精度。 而在冷却体系上也在水中加入了复合液体,使其冷却效果更好,从而又提升了整体的性能。 所有人随着江凡的讲解都听傻了,竟然还能有这么精巧的设计,但一说出却又都恍然大悟。 而且他们突然意识到,如果每一个模块都能达到这种水准的提升,那2纳米芯片,真的不是没有可能。 项目本质上还没开始,但在场众人已经有种看到胜利曙光,要额手称庆的冲动了,华夏高端芯片的春天,真的要来了吗。 江凡摆手先平抚下已经有点喜不自胜的众人,说明了一下整体的计划和安排。 最后,他特别强调了保密原则,一方面是为了正在进行的谈判,另一方面也是防止对手在这个过程中使绊子。 整体就是采取分段式的工作流程,核心的资料、信息和计划只掌握在少数可靠的人手里,然后把任务分拆下去,每个部门或者人员做自己的。 他们都不可以看到全貌,或者他们都以为自己是在为开发12纳米芯片在做工作。 但最后他们所做的东西组装起来,却是可以完成2纳米高端芯片的所有设备和工艺。 因为资料还有缺失,所以江凡把整个计划分了2个阶段,第一阶段利用现有的资料先完成5纳米芯片的设计和制造,完成这个需要补全的技术资料比较少。 然后等把所有技术资料补全后,再完成2纳米芯片的设计制造。 因为后面销售本身也是需要不同层次的产品差异定价,所以这两块产品都不会浪费。 讲完这些,江凡看向众人着重又强调了一遍:“保密工作一定要做好,尤其不能向名单里有,但这次没有来参加会议的那几家企业泄露,你们能理解我的意思吗?” 众人听到江凡这句话,已经隐隐猜到了什么,都是重重点头,这件事包括这个联盟的意义他们很清楚。 如果因为自己的麻痹大意或者疏忽影响了整个事情的成败,怕第二天就会有人敲门查水表了。 第(3/3)页